青山湖科技城打造微纳技术研发开放平台

青山湖科技城打造微纳技术研发开放平台
科技日报杭州11月25日电 (记者江耘 实习生黄龄亿)24日,2019青山湖集成电路工业开展研讨会暨毛钧业先生诞辰100周年纪念会在杭州青山湖科技城举办。记者了解到,青山湖科技城依托多个国家科技严重专项,培养开展集成电路工业,打造微纳智造小镇,在不到两年时间里集聚了37个总投资260余亿元的工业链项目。 青山湖科技城于2009年11月30日奠基建造,本年该城建造10周年。临安区委常委、青山湖科技城党工委书记王翔介绍,十年实业,制作智城,青山湖科技城正大力推动集成电路数字工业化、配备制作工业数字化。集成电路相关工业首要会集在微纳智造小镇。 杭州市政府党组成员、杭州城西科创工业集聚区党工委书记、管委会主任李玲介绍道,青山湖微纳智造小镇已被列入浙江重要的集成电路工业培养基地。下一步,将在区域规划、工业严重项目布局、方针资金等方面,给予更多更大支撑和歪斜。 青山湖微纳技能研发敞开渠道(以下简称微纳渠道)是青山湖科技城本年打造的一个重要渠道。据了解,微纳渠道是以12英寸特征高端芯片工艺研发为中心,掩盖通用芯片规划和测验服务的敞开性渠道,其首要功用包含电路规划、工艺研发、小批量产、测验剖析等。 浙江省自旋电子资料器材与体系要点实验室总监孟皓介绍道,现在,该渠道已具有光刻机等60多台套关键设备、2300平方米洁净室、中心技能骨干专家170余人,可为集成电路企业供给技能研发、立异渠道和小批量量产、中试等服务。 王翔表明,青山湖微纳技能研发敞开渠道,为全国的微纳技能企业、科研机构,供给芯片规划、研发、流片、测验服务。 有了政府的继续推动,外加产学研协作的良好基础。微纳小镇招引了18个项目落地运转和建造。如驰拓科技新式高端存储芯片研发中试基地全面投用;启尔机电刻光刻机浸液体系研发与中试基地项目全面投用、科研人员悉数入驻;清华大学华卓精科光刻机工件台项目已动建。